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多晶硅复原炉体及钟罩干式清算体系

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德朴直多晶硅复原炉体及钟罩干式清算体系操纵时操纵高低挪动和扭转机构动员高压气体喷吹和特别扭转刷组合机构近间隔对反映釜外表停止喷吹和打仗式打扫到达洗濯的目标。经由过程洗濯扭转调速机构可知足各工况的请求。洗濯的同时接纳特别除尘污染器一次性停止除尘污染。

产物先容

一、体系概述
 
多晶硅复原炉钟罩干式清算体系表示图

多晶硅复原炉体及钟罩干式清算体系合用硅烷法多晶硅出产工艺,用于复原车间反映釜中硅污染物附出力不大的工况前提下无污染干式洗濯。洗濯时操纵高低挪动和扭转机构动员高压气体喷吹和特别扭转刷组合机构近间隔对反映釜外表停止喷吹和打仗式打扫到达洗濯的目标。经由过程洗濯扭转调速机构可知足各工况的请求。洗濯的同时接纳特别除尘污染器一次性停止除尘污染。

二、体系特色

1、装配为挪动单位式布局;

2、污染后的氛围可到达10万级的污染精度可完整在室内排放;

3、接纳全封锁干式的洗濯体例确保对情况不呈现二次污染;

4、电气设想按隔爆的各项请求履行、 装备设有静电导出装配;

5、节制体例可为全主动或手动节制;

6、运转总功率小,噪声低。
 
多晶硅复原炉体底座打扫装配表示图

三、打扫工艺

反映釜吊装至洗濯台上→定位→毗连→启动污染器→启动扭转→高低挪动机构→高压气体沿壁喷吹→扭转刷至上而下打仗挪动打扫→污染气体置换→反映釜吊起→查抄。

四、装备构成

首要由洗濯平台、气体喷吹装配、吸尘保送管道、节制阀门、能源机构、洗濯机构、各管道疾速讨论、除尘污染器、电气节制体系等构成。

首要部件接纳入口零部件,确保运转靠得住不变、操纵周期长。操纵维修简略。


手艺参数
品牌:德朴直
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